差壓變送器的測量部分常采用差動電容結構。中心可動極板與兩側固定極板構成兩個平面型電容H 和L。H端表示正壓，可動極板與兩側固定極板形成兩個感壓腔室，介質壓力是通過兩個腔室中的填充液作用到中心可動極板。一般采用硅油等理想液體作為填充液，被測介質大多為氣體或液體。隔離膜片的作用既傳遞壓力，又避免電容極板受損。
當正負壓力(差壓)由正負壓導壓口加到膜盒兩邊的隔離膜片上時，通過腔室內硅油液體傳遞到中心測量膜片上，中心感壓膜片產生位移，使可動極板和左右兩個極板之間的間距不相對，形成差動電容，若不考慮邊緣電場影響，該差動電容可看作平板電容。差動電容的相對變化值與被測壓力成正比，與填充液的介電常數無關，從原理上消除了介電常數的變化給測量帶來的誤差。
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